奇米影视第四色首页 佳能向得克萨斯电子商榷所录用其开头进纳米压印光刻 NIL 系统

IT 之家 9 月 27 日讯息，佳能日本东京当地时候昨日文告奇米影视第四色首页，将在同日向总部位于好意思国得克萨斯州的半导体定约得克萨斯电子商榷所（TIE）录用佳能开头进的纳米压印光刻 NIL 系统   FPA-1200NZ2C。

得克萨斯电子商榷所树立于 2021 年，由得克萨斯当地政府、半导体企业（IT 之家注：包括英特尔在内）、好意思国国度商榷机构和其它实体构成奇米影视第四色首页，获得超过克萨斯大学奥斯汀分校的支援。

该定约对外提供对半导体研发决议和原型纪律的探听权限，以匡助处治与先进半导体技巧（包括先进封装技巧）联系的问题。

佳能的 FPA-1200NZ2C 系统可完结最小 14nm 线宽的图案化，支援 5nm 制程逻辑半导体出产。该斥地将在得克萨斯电子商榷所用于先进半导体的研发和原型的出产。

传统的光刻斥地通过将高能光泽投射到涂有光刻胶的晶圆上来塑造电路图形，而佳能 FPA-1200NZ2C 系统则通过将印有电路图形的掩模像钤记雷同压入晶圆上的光刻胶内来完结这照旧过。

由于其电路图形诊疗经过不经过光学关节奇米影视第四色首页，NIL 光刻斥地不错在晶圆上诚恳再现掩模中的精熟电路图形。此外 NIL 光刻斥地还具有低功耗低本钱的上风。